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                     热式气体质量流量控制器部分案例应用

我公司代理的瑞士福克林质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。CMOSens 专利技术,基于热式原理,将热传感器和 放大器,A/D转换,集成在一个CMOS芯上,并通过内部 微控制器将检测数据进行完全标定和温度补偿,这种测量方式具有固有的线性,重复性好,高精度,无需预热,温漂小等特点。

    目前,一些领先的热式流量计厂家正在纷纷开发CMOS芯片式质量流量计。瑞士福克林研发和生产质量流量产品已有二十余年的历史,广泛应用于各类需精确检测和控制气体流量的设备上。下面介绍一下我公司在工程上的部分应用:

 

 

  在真空镀膜中的应用:

 

    这是济南某厂家专门生产玻璃镀膜制造企业,之前该公司使用北京某国产的气体质量流量控制器为玻璃进行沉积一层强度非常高的氮化膜层,镀膜方式采用离线真空溅射法所镀的膜层厚薄不均,有很明显的斑点,在工作中受高温和高压强的影响,膜层容易起斑点,膜层组织可控参数少、膜层粒子总体能量不高,不容易进行反应沉积。所镀膜后的工件严重影响被加工件的加工精度。
分析其原因,主要是因为气体质量流量控制器在工作受到现场设备磁场的干扰和镀膜机上的震动引起对反应气体的控制不稳定,气体响应滞后,控制精度不高导致的,因此要求充入的气体控制稳定,精度要求高。

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