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RIE-1D型反应离子刻蚀机

产品名称:RIE-1D型反应离子刻蚀机
产品型号:RIE-1D
产品品牌:合世科技
产品分类:均胶机
010-52645952 010-52645953
产品简介技术指标

一. 系统描述

本设备为单室真空系统,它主要由真空系统、气路系统、电气系统、射频电源系统、自动控制系统、冷却系统报警系统等组成。

    真空系统由一台分子泵及一台直联旋片式真空泵组成抽气系统将真空室抽至高真空直联旋片式真空泵为真空室预抽泵及分子泵前级泵。直联旋片式真空泵与真空室之间及与分子泵之间,均采用不锈钢硬管及波纹管连接并装有电磁气动隔断阀。

    功率源采用RF500W射频电源,配备功率匹配器。

    气路系统采用三个质量流量控制器控制三路气体进气。气体管路采用1/4英寸不锈钢硬管,管路接头连接形式采用双卡套式连接

本设备设有安全保护及报警系统

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