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北京合世自动化科技有限公司
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PR-3型离子去胶机

产品名称:PR-3型离子去胶机
产品型号:PR-3
产品品牌:合世科技
产品分类:均胶机
010-52645952 010-52645953
产品简介技术指标

  通过等离子体方法,对陶瓷片、硅片等衬底材料图形上的光刻胶进行干法去除设备为单室真空系统,主要由真空系统、气路系统、电气系统、射频电源系统、控制系统、冷却系统报警系统等部分组成。

射频电源采用RF500W电源控制。

气路系统采用两台浮子流量计控制气体进气

 

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